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MEMS继电器中0.25mm铜质弹性件要求2μm形变精度。走心机使用0.01mm超微粒钨钢切槽刀,在30000rpm转速下以0.0003mm/rev进给分120次切削。关键创新在于激光干涉仪实时测量切削力并反馈至控制系统,自动调整参数保持切削力恒定在0.15±0.02N范围,成功将弹性系数波动控制在±3%内。
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